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M 係列 在綫數字式(shì)質量(liáng)流量(liáng)計產品介(jiè)紹：

M 係列 在綫數字式(shì)質量(liáng)流量(liáng)計

采(cǎi)用(yòng)專(zhuān)有(yǒu)的內(nèi)部(bù)補償型層(céng)流(liú)壓(yā)差(chà)技(jì)術(shù)，使(shǐ)得大 流(liú)量(liáng)範(fàn)圍下氣體(tǐ)仍舊保持層(céng)流運動，充分補償(cháng)因壓(yā)力和溫度引(yǐn)起的(dí)體(tǐ)積流 量(liáng)與質(zhì)量(liáng)流量(liáng)間的(dí)差(chà)異，並對用戶標(biāo)準(zhǔn)工(gōng)況進(jìn)行修正。所有(yǒu) Alicat 質量(liáng)流(liú) 量(liáng)計均具有(yǒu) NIST 可溯源(yuán)校準(zhǔn)證書(shū)。 

M 係(xì)列(liè)質(zhì)量流(liú)量計內部無(wú)可移動組件(jiàn)和(hé)熱(rè)元(yuán)件(jiàn)，通過(guò)抗(kàng)振動(dòng)測試，對(duì)安裝 方向(xiàng)不(bù)敏感(gǎn)。

M 係列質量流量計帶有(yǒu)集(jí)成(chéng)式(shì)多功(gōng)能數字(zì)顯(xiǎn)示屏(píng)， 用戶可通多顯(xiǎn)示(shì)屏按(àn)鈕(niǔ)操(cāo)作在(zài)內置(zhì) 98 種標準(zhǔn)氣 體中進(jìn)行(háng)任意切換，同時開(kāi)放(fàng)模擬通訊(xùn)和 RS-232 數字通(tōng)訊(xùn)模(mó)式。我(wǒ)們(mén)為用戶提(tí)供廣(guǎng)泛(fàn)的(dí)定製化(huà)服(fú)務(wù)以(yǐ)滿(mǎn) 足(zú)各類特殊(shū)的(dí)項目(mù)需(xū)要(yào)，如：用於(yú)危(wēi)險環境(jìng)的 ATEX(歐(ōu)洲(zhōu)) 1 類(lèi) 2 區(qū)和(hé) CSA(美(měi)國)1 類(lèi) 2 區(qū)認(rèn)證產(chǎn)品等。 另(lìng)有耐腐(fǔ)蝕(shí)係(xì)列(liè)(MS 係列(liè))，低壓(yā)損(sǔn)係列(liè)(MW 係(xì)列(liè))和便(biàn)攜(xié)式(shì)係列(liè)(MB 係列)質(zhì)量流(liú)量計可選。

如(rú)：科(kē)學研究(jiū)，泄漏測試，環境監測，真空 鍍(dù)膜，半導體，汽車製造，光伏，燃料電(diàn)池(chí)，光(guāng)纖製(zhì)造，計量(liáng)以(yǐ)及(jí)過程工藝氣體測(cè)量(liáng)等。多變量(liáng)測(cè)量， 多種(zhǒng)氣體標(biāo)定(dìng)以及 200:1 量(liáng)程(chéng)可調比使(shǐ)得(dé)僅用(yòng)一台 Alicat 質(zhì)量(liáng)流量(liáng)計便可(kě)取代多(duō)台(tái)設(shè)備發揮(huī)的功效(xiào)。很(hěn)高(gāo) 可達(dá) 0.4%的精(jīng)度，0.2%重(zhòng)復(fù)性(xìng)及不到(dào) 10 毫秒(miǎo)的(dí)測量(liáng)響(xiǎng)應(yīng)速度(dù)很(hěn)大程度(dù)優化了(liǎo)氣(qì)體測(cè)量過(guò)程。 

M 係列質量(liáng)流(liú)量計可測量從 0-0.5 SCCM 到(dào) 0-4000SLPM 的(dí)滿(mǎn)量(liáng)程的任何(hé)流量。

技(jì)術參數：

標準(zhǔn)規格

滿(mǎn)量(liáng)程(chéng)範(fàn)圍：所有氣(qì)體為(wéi) 0.5 SCCM 至(zhì) 5,000 SLPM（H2 為 10,000 SLPM）

測(cè)量範(fàn)圍：滿(mǎn)量程(chéng)的(dí)0.01% – 100%

精度(dù)：讀數的(dí) ±0.6% 或(huò)滿量(liáng)程的 ±0.1%，以較大(dà)者為(wéi)準(zhǔn)

可選高精度(dù)：讀數(shù)的(dí) ±0.5% 或(huò)滿量(liáng)程的(dí) ±0.1%，以(yǐ)較(jiào)大(dà)者(zhě)為準(zhǔn)

重(zhòng)復性：讀(dú)數的 0.1% 和滿量程(chéng)的 0.02%

響應時(shí)間：<10毫(háo)秒(miǎo)

工作溫度： –10°C 至(zhì) +60°C

滿(mǎn)量程工(gōng)作壓力： 160 PSIA (11 barA)