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MS/MCS 係列 耐腐蝕(shí)質量流量計(jì)產(chǎn)品(pǐn)介紹：

  MS/MCS 係(xì)列(liè)質量流量計(jì)&質量(liáng)流(liú)量(liáng)控(kòng)製(zhì)器的核(hé)心部(bù)件(jiàn)是(shì) Alicat 專有(yǒu)的(dí)層(céng)流壓差技術，確(què)保在大(dà)流(liú)量情(qíng)況仍然是(shì)綫性流動，從而 補償(cháng)了工藝溫度和壓力變化對質(zhì)量(liáng)流(liú)量(liáng)及(jí)體積流量產生的影響。 所有 Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量(liáng)流(liú)量控製(zhì)器均(jūn)具有(yǒu) NIST 可(kě)溯源校準 證(zhèng)書。

MS/MCS 係列(liè)質量流量計/質(zhì)量流(liú)量(liáng)控製(zhì)器采(cǎi)用全(quán)不(bù)鏽鋼結構及彈性密(mì)封材料，內置 130/128 種(zhǒng)標準氣體(tǐ)供 選擇(zé)。集成式(shì)多功(gōng)能(néng)數(shù)字顯示(shì)屏允(yǔn)許用(yòng)戶(hù)通(tōng)過顯(xiǎn)示(shì)屏(píng)按鈕(niǔ)操作便(biàn)可進(jìn)行氣體(tǐ)切(qiē)換(huàn)，設定值(zhí)輸入及 PID 閥門 調節(jié)。MS/MCS 係列(liè)設備支持標準(zhǔn)的模擬(nǐ)通(tōng)訊和 RS-232 數字通(tōng)訊模式(shì)，另有(yǒu)各類(lèi)定製(zhì)化選項供(gōng)特殊項(xiàng)目(mù) 需(xū)求，如(rú)：用(yòng)於危(wēi)險環境的(dí) ATEX(歐洲)1 類(lèi) 2 區(qū)和 CSA(美(měi)國)1 類(lèi) 2 區認證(zhèng)產(chǎn)品等(děng)。另(lìng)有便攜式(MBS 係 列(liè))質量(liáng)流(liú)量計可(kě)選。

為(wéi)腐(fǔ)蝕性(xìng)過(guò)程(chéng)氣體(tǐ)應(yīng)用的首(shǒu)肯(kěn)，如：半(bàn)導(dǎo)體行(háng)業(yè) 等。多變量測量(liáng)與(yǔ)控製，多種氣(qì)體(tǐ)標定以(yǐ)及 100:1 量程(chéng)可(kě)調(tiáo)比使得僅(jǐn)用(yòng)單台 MS/MCS 係(xì)列(liè)質量(liáng)流(liú)量(liáng)控製(zhì)器 便(biàn)可取代(dài)多(duō)台設備(bèi)的功效(xiào)。很(hěn)高可(kě)達(dá) 0.4%的(dí)精度，0.2%重(zhòng)復性及不(bù)到(dào) 100 毫秒的控製響應(yīng)時(shí)間很大(dà)程度(dù)優 化了(liǎo)氣(qì)體控(kòng)製過(guò)程。 

MS/MCS 質(zhì)量流量計&質量(liáng)流量控(kòng)製(zhì)器(qì)可測(cè)量(liáng)與(yǔ)控製從(cóng) 0-0.5 sccm 到 0-3000 slpm 的(dí)滿量程的(dí)任(rèn)何流(liú)量。

可(kě)測量 130 多(duō)種氣體的(dí)質量(liáng)和體積流量，其(qí)中(zhōng)包(bāo)括 32 種(zhǒng)腐蝕(shí)性(xìng)氣體(tǐ)。

技(jì)術參(cān)數(shù)：

0 – 0.5 sccm 滿量(liáng)程到 0 – 4000 slpm 滿(mǎn)量(liáng)程(chéng)

精度(dù)(調零(líng)後(hòu)標準(zhǔn)條件下(xià)): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) 

高精度(dù)選配(pèi)(調零後標準(zhǔn)條件(jiàn)下(xià)) :±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)高(gāo)精(jīng)度(選(xuǎn)配(pèi))僅適(shì)用(yòng)於(yú)量程為 5SCCM ~ 500SLPM 的(dí)設(shè)備

精(jīng)度(dù)(雙向流量(liáng)型(xíng)號(hào))(調(tiáo)零(líng)後(hòu)標準(zhǔn)條(tiáo)件(jiàn)下(xià)): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) F.S:負(fù)滿(mǎn)量程(chéng)到正滿(mǎn)量程

重(zhòng)復(fù)性: ±0.2% F.S 

零點漂(piāo)移(yí)&滿量程漂(piāo)移: 0.02% F.S / ºC / Atm

工(gōng)作範圍(wéi) / 量程(chéng)可調比(bǐ): 1% ~ 100 F.S / 100:1

很大(dà)可測流量(liáng): 128% F.S 

典(diǎn)型響應時間(jiān) :10 毫秒(可(kě)調(tiáo)整(zhěng))

啟動預熱(rè)時間 :< 1 秒(miǎo)

標(biāo)準工(gōng)況 (STP): 25ºC & 14.696 psia，20ºC & 14.696 psia，0ºC & 14.696 psia (三(sān)種工(gōng)況供切(qiē)換) 

工(gōng)作溫度(dù): −10 ~ +50 ºC

工作濕度範(fàn)圍(wéi) (非冷凝) :0 ～ 100 

內部很(hěn)大工作(zuò)壓(yā)力(靜壓(yā)) :145 psig 

設(shè)備允(yǔn)許(xǔ)通(tōng)過的(dí)很(hěn)大瞬時壓差 (入口壓(yā)力－出口(kǒu)壓力(lì)): 75 psid 

很(hěn)限壓力 175 psig 

對安裝方式(shì)/方(fāng)向的要求: 無(wú) 

防(fáng)護(hù)等級: IP40