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MC 氣體標準(zhǔn)質量(liáng)流(liú)量(liáng)控製器產(chǎn)品(pǐn)介紹
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  MC 氣體(tǐ)標準質量流(liú)量控(kòng)製器(qì)全球控製響(xiǎng)應(yīng)很快(kuài)，很穩(wěn)定(dìng)的質量流(liú)量控(kòng)製(zhì)器，可測(cè)量(liáng)並(bìng)控(kòng)製低至(zhì)2.5微(wēi)升(shēng)的流量(liáng)，依照(zhào)用(yòng)戶應用需求量身(shēn)定製(zhì)閥門(mén)孔(kǒng)徑以確保(bǎo)達到(dào)很好工作效果。

所(suǒ)有氣(qì)體(tǐ)的滿(mǎn)量(liáng)程(chéng)流(liú)量(liáng)在0.5 SCCM和 5000 SLPM之(zhī)間(jiān)（ H2 為 10,000 SLPM）

監測四(sì)個(gè)變(biàn)量(liáng)
： 質(zhì)量(liáng)流量，體積(jī)流量，壓力和溫(wēn)度(dù)

控製(zhì)三(sān)個變(biàn)量(liáng)之(zhī)一
：質量流量(liáng)，體積(jī)流(liú)量(liáng)或(huò)壓(yā)力(lì)

預加載98 多種氣體校(xiào)準且(qiě)可(kě)供用戶選擇

本(běn)地，模擬或數字(zì)控製(zhì)，包括工(gōng)業協議

技術參數
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穩態(tài)控(kòng)製範(fàn)圍(wéi)
：滿量(liáng)程的(dí)0.01% – 100%

NIST 可追溯校準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)精度
：讀(dú)數(shù)的 ±0.6% 或滿(mǎn)量程(chéng)的 ±0.1%，以(yǐ)較大(dà)者為(wéi)準

高精(jīng)度(dù)
：讀數(shù)的(dí) ±0.5% 或滿(mǎn)量程的 ±0.1%，以(yǐ)較(jiào)大者為(wéi)準

重(zhòng)復性
：±（讀數的0.1% + 滿(mǎn)量程(chéng)的0.02%）

典型控製響(xiǎng)應(yīng)時間
：快(kuài)至 30 ms

預(yù)熱時(shí)間(jiān)
：<1秒(miǎo)

兼容(róng)氣體
：98+ 純氣(qì)體(tǐ)和混(hùn)合非腐(fǔ)蝕(shí)性氣體

工(gōng)作(zuò)溫(wēn)度(dù)
：–10°C 至 +60°C

滿量程工作(zuò)壓力
：160 PSIA (11 barA)