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MADlink 100微孔(kǒng)徑(jìng)快速測(cè)量(liáng)儀產品(pǐn)介(jiè)紹：

  MADlink 100微(wēi)孔徑快速測(cè)量儀是一(yī)款專門(mén)應用於快(kuài)速測(cè)量(liáng)薄(báo)片(piàn)上的微孔(kǒng)直(zhí)徑的(dí)光學儀(yí)器
，有(yǒu)效解決(jué)了傳統(tǒng)方法光學(xué)采用(yòng)顯(xiǎn)微圖像處(chǔ)理技術(shù)和電(diàn)子顯(xiǎn)微(wēi)鏡(jìng)都無(wú)法實現對(duì)薄片(piàn)微(wēi)孔孔(kǒng)徑(jìng)全(quán)檢(jiǎn)的(dí)技術難題(tí)。

 MADlink 100微孔(kǒng)徑(jìng)快速測(cè)量儀(yí)是一(yī)款專門(mén)應用於快(kuài)速測量薄(báo)片(piàn)上的微孔直徑(jìng)的光學儀器
，有效解決(jué)了傳(chuán)統方(fāng)法(fǎ)光(guāng)學(xué)采(cǎi)用顯微(wēi)圖(tú)像處(chǔ)理技術(shù)和(hé)電子顯微(wēi)鏡都無法實現對(duì)薄片微(wēi)孔孔(kǒng)徑(jìng)全(quán)檢(jiǎn)的技術難題(tí)。其特點是(shì)對薄片全(quán)域範(fàn)圍(wéi)（最大(dà)麵積5.0x4.5mm）的所有微孔隻需(xū)一次抓拍
，即可(kě)輸出(chū)薄片(piàn)上全部(bù)微(wēi)孔(kǒng)的(dí)孔(kǒng)徑特征，孔徑分(fēn)布和(hé)微(wēi)孔(kǒng)位(wèi)置分布圖。

圖1：微孔片(piàn)樣(yàng)品(pǐn)圖

  薄片微孔(kǒng)徑(jìng)是(shì)指在平板薄(báo)片(piàn)上的(dí)尺(chǐ)寸達微米甚至亞微(wēi)米大小的小孔的直(zhí)徑。

  普通(tōng)的光(guāng)學顯微鏡受到(dào)光學(xué)衍射現(xiàn)象(xiàng)的(dí)限製(zhì)
，最(zuì)高分辨(biàn)力(lì)隻能達(dá)到0.5μm左(zuǒ)右
，因此用普(pǔ)通(tōng)的(dí)光學(xué)顯微鏡測量1μm左右(yòu)的微(wēi)孔(kǒng)
，誤差顯然過(guò)大；況且此(cǐ)時隻(zhī)能(néng)用40倍(bèi)或以上的(dí)顯(xiǎn)微物(wù)鏡(jìng)
，視場(cháng)大(dà)小(xiǎo)隻能達(dá)到0.2mm或(huò)者(zhě)更小(xiǎo)。對(duì)於(yú)製作(zuò)在(zài)薄片上(shàng)，位置(zhì)分布範圍(wéi)達數(shù)毫(háo)米的(dí)微(wēi)孔片
，不可能做到(dào)全域(yù)一(yī)次抓拍。即便通過分區掃描測量(liáng)也許耗費大量時(shí)間
，且難(nán)免出(chū)現(xiàn)漏(lòu)檢問(wèn)題。如果(guǒ)使用(yòng)低倍顯微物(wù)鏡做全域拍攝測(cè)量
，例(lì)如2倍(bèi)
，則由於(yú)低倍物(wù)鏡的數(shù)值孔徑(jìng)很小(xiǎo)（2倍(bèi)物鏡(jìng)的(dí)數值(zhí)孔(kǒng)徑(jìng)隻(zhī)有(yǒu)0.06）
，孔(kǒng)徑限製(zhì)造(zào)成的衍(yǎn)射(shè)光(guāng)斑(bān)（愛(ài)裏斑）直(zhí)徑可(kě)達(dá)到10μm左(zuǒ)右(yòu)
，用這(zhè)樣(yàng)的鏡頭(tóu)觀察數十(shí)微米量級的微(wēi)孔(kǒng)
，會(huì)產生顯著(zhù)的(dí)模糊(hū)
，而對1μm量級(jí)的(dí)微孔(kǒng)
，普(pǔ)通的光(guāng)學(xué)顯微(wēi)鏡的圖像已(yǐ)經不能反映孔(kǒng)的大小。所(suǒ)以(yǐ)
，基於(yú)光學顯微放(fàng)大和數(shù)字圖像處理技術(shù)的測(cè)量(liáng)係(xì)統(tǒng)難以完成這類(lèi)微孔徑(jìng)的全域(yù)快速測量。電子(zǐ)顯(xiǎn)微鏡(jìng)雖然(rán)具有更(gēng)好(hǎo)的(dí)景深和分(fēn)辨(biàn)能力
，但(dàn)單次測量視(shì)場更(gēng)小
，使用成(chéng)本也十分高昂(áng)
，不(bù)太(tài)適(shì)合(hé)廣(guǎng)泛應(yīng)用在薄片微孔徑的快速(sù)測(cè)量(liáng)。

圖(tú)2：工作(zuò)原(yuán)理圖

MADlink 100微(wēi)孔徑快速(sù)測量儀采用(yòng)團(tuán)隊(duì)研(yán)發的(dí)光通量微孔徑測(cè)量(liáng)法(fǎ)
，利用透(tòu)過微(wēi)孔的(dí)光通量與(yǔ)孔麵積成正比(bǐ)的關(guān)係
，如(rú)下圖示
，本有效規避了(liǎo)光學顯(xiǎn)微成像(xiàng)方法中的(dí)（成像透鏡）光學(xué)衍射(shè)對微(wēi)孔徑尺寸(cùn)測量(liáng)準確度的製約。

圖3：光通(tōng)量--孔徑曲綫關(guān)係圖

  根(gēn)據圖像(xiàng)傳(chuán)感器(qì)檢(jiǎn)測得(dé)每個孔(kǒng)的光(guāng)通(tōng)量值計(jì)算微孔孔(kǒng)徑
，同(tóng)時對(duì)微(wēi)孔(kǒng)本身的光學衍(yǎn)射造成(chéng)的光能損(sǔn)失進行(háng)修正(zhèng)
，從而實(shí)現(xiàn)微孔直(zhí)徑的全域一次抓拍即可(kě)快速完(wán)成對(duì)區(qū)域(yù)內全部微孔孔(kǒng)徑的測(cè)量(liáng)
，最後(hòu)輸出微孔徑(jìng)分(fēn)布曲(qū)綫和空(kōng)間(jiān)位(wèi)置分布(bù)圖。